無(wú)塵車(chē)間的溫濕度隨著空氣潔凈度要求的提高，也考慮到人的舒適度，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。
具體對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種無(wú)塵車(chē)間工程不宜超過(guò)25度。
濕度過(guò)高會(huì)產(chǎn)生大量的問(wèn)題，如果相對(duì)濕度超過(guò)百分之五十時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，無(wú)塵車(chē)間工程濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高，粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。
便攜式溫濕度儀
HD 110
產(chǎn)品特色
-操作簡(jiǎn)易且攜帶方便
- 顯示屏背光功能
- 定格值/最小值/最大值功能
- 選擇測(cè)量單位
產(chǎn)品功能
- 測(cè)量相對(duì)濕度, 露點(diǎn)和溫度
- 選擇測(cè)量單位 (溫度和露點(diǎn))
- 測(cè)量值定格
- 顯示最小值和最大值
- 設(shè)置自動(dòng)關(guān)機(jī)
- 顯示屏背光
技術(shù)規(guī)格
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測(cè)量參數(shù) |
測(cè)量單位 |
量程 |
精確度 |
分辨率 |
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相對(duì)濕度 |
%RH |
5 ~ 95 %RH |
精確度 (包含重復(fù)性, 線性, 遲滯): ±1.8 %RH ( +15 ~ +25 °C ) 工廠校準(zhǔn)不確定度: ±0.88 %RH 溫度依賴(lài)性: ±0.04 x (T-20) %RH ( T< 15 °C 或 T>25 °C ) |
1 ppm |
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露點(diǎn) |
°Ctd, °Ftd |
-40 ~ +70 °Ctd |
±0.6 °Ctd |
0.1 °Ctd |
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溫度 |
°C, °F |
-20 ~ +70 °C |
±0.3 °C |
0.1 °C |
技術(shù)功能
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顯示屏 |
4行, 液晶顯示屏, 尺寸 50 x 36 mm 2行 5 位 (數(shù)值) 2行 5 位 (單位) |
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電纜 |
卷式 , 長(zhǎng)度 0.45 m , 展開(kāi)后 2.4 m |
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外殼材質(zhì) |
ABS, 防護(hù)等級(jí) IP54 |
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按鍵 |
5 個(gè)按鍵 |
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電磁兼容 |
CEM 2004/108/CE 和 NF EN 61010-1 |
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電源供應(yīng) |
4 節(jié) 1.5 VDC 七號(hào)電池 |
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電池壽命 |
150 小時(shí) |
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測(cè)量環(huán)境 |
中性氣體 |
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操作溫度 (主機(jī)) |
0 ~ +50 °C |
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操作溫度 (探頭) |
-20 ~ +70 °C |
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儲(chǔ)存溫度 |
-20 ~ +80 °C |
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自動(dòng)關(guān)機(jī) |
可設(shè)置 0 ~ 120 分鐘 |
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重量 |
340 g |